Kajian mengenai semikonduktor berasaskan karbon / silikon direka menggunakan DC-PECVD

Abstract

Hari ini sains dan teknologi telah memasuki era nanosains dan nanoteknologi. Nanosains bertujuan untuk memahami sifat bahan yang mempunyai saiz dalam dimensi atom atau dalam ukuran nanometer dan memikirkan peluang kegunaannya bagi pengembangan nanoteknologi (Rohrer, 1996, Cohen, 2001). Sementara ini, bahan nanostruktur yang telah banyak dikaji adalah bahan silikon (Murase, et.al 1995, Zhang, et.al 2001, Nishio, et.al 2001) dan karbon (Yu, et.al 2002). Bahan nanotiub karbon, nanoserabut karbon dan nanozarah karbon me njadi bahan yang sangat menarik sebab ianya mempunyai struktur dan sifat yang tidak lazim. Sebagai contoh, nanotiub karbon boleh bersifat sama ada sebagai semikonduktor atau logam bergantung kepada garis tengah dan kekiralannya (Yu, et.al 2002).